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2-19。スクラッチ

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-19。スクラッチ

2018-01-08

スクラッチは、長さと幅の比が5対1より大きく、高輝度照明下で見えるように、前面のウェハ表面に単一の切れ目または溝として画定される。


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