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Ge(ゲルマニウム)単結晶およびウェーハ

Ge(ゲルマニウム)単結晶およびウェーハ

pamは半導体材料、vgf / lecで成長した単結晶(Ge)ゲルマニウム・ウェーハ

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    1
  • 製品詳細


単結晶(Ge)ゲルマニウムウェハ


pamは半導体材料、 Ge(ゲルマニウム)単結晶およびウェーハ vgf / lecで成長

ゲルマニウムウェーハの一般的性質


一般  プロパティ構造

立方体、a =  5.6754Å

密度:5.765  g / cm 3

溶融  ポイント:937.4 oc

サーマル  導電率:640

結晶成長  技術

チョクラルスキー

ドーピング  利用可能な

未払い

sbドーピング

ドーピングまたは  ガ

導電型

/

n

p

抵抗率、ohm.cm

> 35

< 0.05

0.05〜0.1

epd

< 5x10 3 /cm 2

< 5x10 3 /cm 2

< 5x10 3 /cm 2

< 5x10 2 /cm 2

< 5x10 2 /cm 2

< 5x10 2 /cm 2

ゲルマニウムウェーハのグレードとアプリケーション

電子グレード

ダイオードに使用  トランジスタ、

赤外線または  オピニカルグレード

irに使用  光学窓またはディスク、光学部品

セルグレード

の基質に使用  太陽電池


ゲルマニウム結晶とウェーハの標準仕様

結晶  オリエンテーション

u003c111u003e、u003c100u003e  < 110> ±0.5 o またはカスタムオリエンテーション

クリスタルブール  成長した

1 "〜  直径6インチ×長さ200mm

標準ブランク  カットとして

1 "x 0.5mm

2 "x0.6mm

4 "x0.7mm

5インチ&6インチx0.8mm

標準  研磨されたウエハー(片面/両面研磨済み)

1 "×0.30mm

2 "x0.5mm

4 "x0.5mm

5インチ&6インチx0.6mm

要求されたウェーハ上で特別なサイズと向きが利用可能


ゲルマニウムウェーハの仕様

項目

仕様

備考

成長法

vgf

導電型

n型、p型、  未払い

ドーパント

ガリウムまたは  アンチモン

ウエハダイアメータ

2,3,4& 6

インチ

結晶  オリエンテーション

(100)、(111)、(110)

厚さ

200〜550

um

ejまたはus

キャリア  濃度

要求する  顧客

 

抵抗率  RT

(0.001〜80)

オーム・cm

エッチピット密度

u003c5000

/ cm 2

レーザーマーキング

要求に応じて

表面仕上げ

p / eまたはp / p

エピ準備完了

はい

パッケージ

シングルウェーハ  コンテナまたはカセット

 


4インチGeウェハ  仕様

ために 太陽電池

 

ドーピング

p

 

ドーピング  物質

ガガ

 

直径

100±0.25  mm

 

オリエンテーション

(100)9°オフ  u003c111u003e +/- 0.5

オフオリエンテーション  傾斜角

該当なし

 

一次フラット  オリエンテーション

該当なし

 

一次フラット  長さ

32±1

mm

二次平面  オリエンテーション

該当なし

 

二次平面  長さ

該当なし

mm

CC

(0.26-2.24)e18

/c.c

抵抗率

(0.74-2.81)e-2

オーム・cm

電子  移動性

382-865

cm 2 / v。

epd

u003c300

/ cm 2

レーザーマーク

該当なし

 

厚さ

175±10

μm

テレビ

u003c 15

μm

ティル

該当なし

μm

u003c10

μm

ワープ

u003c 10

μm

前面

磨かれた

 

背面

接地

 

ゲルマニウムウェハプロセス


ゲルマニウムウェーハ製造プロセスにおいて、残渣処理からの二酸化ゲルマニウムは、塩素化および加水分解ステップにおいてさらに精製される。

1)ゾーン精製中に高純度ゲルマニウムが得られる。


2)ゲルマニウム結晶は、チョクラルスキープロセスによって生成される。


3)ゲルマニウムウェハは、いくつかの切断、研削、およびエッチングステップを経て製造される。


4)ウエハを洗浄し検査する。このプロセスの間、ウエハは片面研磨またはカスタム化された要求に従って両面研磨され、エピレディーウェーハが来る。


5)ウェハは、窒素雰囲気下で枚葉紙容器に包装される。


応用:

ゲルマニウムのブランクまたは窓は、商業用セキュリティ、消防、および工業用監視装置用の暗視およびサーモグラフィー画像ソリューションに使用されています。また、分析および測定機器、遠隔温度測定の窓、レーザー用のフィルターとしても使用されています。

薄いゲルマニウム基板は、iii-v三重接合太陽電池および電力集中型pv(cpv)システムに使用される。

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