2020-03-17
2020-03-09
pwamは、化合物半導体基板 - ガリウム砒素結晶とウェーハを開発し、製造しています。我々は高度な結晶成長技術、垂直グラジエントフリーズ(vgf)およびガーウェーハ処理技術を使用し、結晶成長、切断、研磨から研磨加工、ウェハ洗浄およびパッケージング用の100クラスクリーンルーム。当社のガース・ウェーハには、LED、LD、マイクロエレクトロニクス・アプリケーション用の2〜6インチ・インゴット/ウェーハが含まれています。現在、サブステートの品質を向上させ、大型基板を開発することに専念しています。
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1(ガース)ガリウム砒素ウェハ
pwamは、化合物半導体基板 - ガリウム砒素結晶とウェーハを開発し、製造しています。我々は高度な結晶成長技術、垂直グラジエントフリーズ(vgf)およびガーウェーハ処理技術を使用し、結晶成長、切断、研磨から研磨加工、ウェハ洗浄およびパッケージング用の100クラスクリーンルーム。当社のガース・ウェーハには、LED、LD、マイクロエレクトロニクス・アプリケーション用の2〜6インチ・インゴット/ウェーハが含まれています。現在、サブステートの品質を向上させ、大型基板を開発することに専念しています。
(ガー)ガリウム砒素ウェーハ
項目 |
仕様 |
備考 |
導電型 |
sc / n型 |
sc / p-typeと 利用可能なznドープ |
成長法 |
vgf |
  |
ドーパント |
シリコン |
利用可能なzn |
ウエハダイアメータ |
2,3、 4 インチ |
インゴットまたはas-cut 利用可能な |
結晶 オリエンテーション |
(100)2 / 6 / 15 オフ (110) |
その他 誤った方向付けが可能 |
の |
ejまたはus |
  |
キャリア 濃度 |
(0.4~2.5)e18 / cm 3 |
  |
抵抗率 RT |
(1.5〜9)e-3 オーム・cm |
  |
移動性 |
1500〜3000cm 2 /v.sec |
  |
エッチピット密度 |
u003c5000 / cm 2 |
  |
レーザーマーキング |
要求に応じて |
  |
表面仕上げ |
p / eまたはp / p |
  |
厚さ |
220〜450um |
  |
エピタキシー準備完了 |
はい |
  |
パッケージ |
シングルウェーハ コンテナまたはカセット |
  |
(ガー)ガリウム砒素ウェーハ
項目 |
仕様 |
備考 |
導電型 |
sc / n型 |
  |
成長法 |
vgf |
  |
ドーパント |
シリコン |
  |
ウエハダイアメータ |
2,3、 4 インチ |
インゴットまたはas-cut 利用可能な |
結晶 オリエンテーション |
(100)2 / 6 / 15 オフ (110) |
その他 誤った方向付けが可能 |
の |
ejまたはus |
  |
キャリア 濃度 |
(0.4~2.5)e18 / cm 3 |
  |
抵抗率 RT |
(1.5〜9)e-3 オーム・cm |
  |
移動性 |
1500〜3000 cm 2 /v.sec |
  |
エッチピット密度 |
u003c500 / cm 2 |
  |
レーザーマーキング |
要求に応じて |
  |
表面仕上げ |
p / eまたはp / p |
  |
厚さ |
220〜350um |
  |
エピタキシー準備完了 |
はい |
  |
パッケージ |
シングルウェーハ コンテナまたはカセット |
  |
(ガリウム)ヒ化ガリウムウエハー、マイクロエレクトロニクス用途向け半絶縁性
項目 |
仕様 |
備考 |
導電型 |
絶縁する |
  |
成長法 |
vgf |
  |
ドーパント |
未払い |
  |
ウエハダイアメータ |
2,3、 4 インチ |
インゴット 利用可能な |
結晶 オリエンテーション |
(100)+/- 0.5 |
  |
の |
ej、私達またはノッチ |
  |
キャリア 濃度 |
該当なし |
  |
抵抗率 RT |
> 1e7ohm.cm |
  |
移動性 |
u003e 5000cm 2 /v.sec |
  |
エッチピット密度 |
u003c8000 / cm 2 |
  |
レーザーマーキング |
要求に応じて |
  |
表面仕上げ |
p / p |
  |
厚さ |
350〜675um |
  |
エピタキシー準備完了 |
はい |
  |
パッケージ |
シングルウェーハ コンテナまたはカセット |
  |
6 "ガリウム砒化ガリウムウェーハ、マイクロエレクトロニクス用途向け半絶縁性
項目 |
仕様 |
備考 |
導電型 |
半絶縁性 |
  |
成長法 |
vgf |
  |
ドーパント |
未払い |
  |
タイプ |
n |
  |
直径(mm) |
150±0.25 |
  |
オリエンテーション |
(100)0 ±3.0 |
  |
ノッチ オリエンテーション |
〔 010 〕 ±2 |
  |
ノッチ深さ(mm) |
(1-1.25)mm 89 -95 |
  |
キャリア 濃度 |
該当なし |
  |
抵抗率(オーム・cm) |
u003e 1.0×10 7 または0.8〜9×10 -3 |
  |
移動度(cm 2 / v.s) |
該当なし |
  |
転位 |
該当なし |
  |
厚さ(μm) |
675±25 |
  |
エッジ除外 弓と反り(mm) |
該当なし |
  |
弓形(μm) |
該当なし |
  |
ワープ(μm) |
≦20.0 |
  |
ttv(μm) |
≤ 10.0 |
  |
tir(μm) |
≤10.0 |
  |
lfpd(μm) |
該当なし |
  |
研磨する |
p / pエピレディ |
  |
2 "lt-gaas(低温成長ガリウム砒素)ウェーハ仕様
項目 |
仕様 |
備考 |
直径(mm) |
Ф50.8mm±1mm |
  |
厚さ |
1-2umまたは2-3um |
  |
マルコ欠陥 密度 |
≤ 5 cm -2 |
  |
抵抗率(300k) |
> 10 8 ohm-cm |
  |
キャリア |
u003c 0.5ps |
  |
転位 密度 |
u003c1x10 6 cm -2 |
  |
使用可能な表面 エリア |
≥ 80% |
  |
研磨する |
片面 磨かれた |
  |
基板 |
ガウス基板 |
  |
*我々はまた、99.9999%(6n)ポリ結晶ガーバーバーを提供することができます。