2020-03-17
2020-03-09
ボウは自由表面の基準面からの自由なクランプされていないウェーハの中央面の中心点のずれである。基準面は正三角形の3つの角によって定義される。この定義は現在古くなったastm f534に基づいています。
シリコンカーバイド、ガーネットまたはインプラントのようなウェハの形状に影響を与えることができる多数の要因が存在する。ウェーハは完全な厚さであるが、その形状の変化によるいかなる外部の影響にも抵抗する引張強度を有する。しかしながら、ウエハが薄くなると、外部からの影響がウエハに凹凸を生じさせてしまう。より一般的な影響のいくつかは、ウェーハの表面上のフィルムのタイプおよび厚さである。
凹凸、湾曲、または変形を、炭化ケイ素ウェハの中心線の任意の厚さの変動とは無関係に含む。
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