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2-35.プライムグレード

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-35.プライムグレード

2018-01-08

プライムグレード：炭化ケイ素ウェーハの最高級。半炭化ケイ素ウェハを「プライムウェハ」と分類するのに必要なバルク、表面および物理的特性を示す。

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