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3-12。シリコン小滴

炭化珪素エピタキシーの定義

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3-12。シリコン小滴

2018-01-08

シリコン小滴は、ウエハ表面に小さな盛り上がりまたは窪みとして現れることがある。通常は存在しないが、もし存在するならば、ウェーハの周囲に大きく集中する。影響を受ける特定の領域の％を推定する。

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