テストウエハモニタウエハダミーウェハ

スノー

項目

SCL  仕様

1

成長法

cz

2

ウェハ直径

150±0.5mm

3

ウェハの厚さ

675±25μm

4

ウェーハ表面  オリエンテーション

u003c100±2°

5

ドーパント

リン

6

転位  密度

未満  5000 / cm 2

8

抵抗率

4-7Ωcm

9

ラジアル  抵抗率の変動（最大）

15％

10

平坦度

＆emsp;

10a

・  弓（最大）

60μm

10b

・  tir（最大）

6μm

10c

・  テーパー（最大）

12μm

10d

・  ワープ（最大）

60μm

11

一次  平らな

＆emsp;

11a

・  長さ

57.5±2.5mm

11b

・       オリエンテーション

{110}±2°ごとに  準標準

11c

二次的  平らな

半期ごとに  標準

12

前面  仕上げ

鏡面研磨された

13

max。粒子  サイズ≧0.3μmの

30

14

・  傷、曇り、エッジチップ、オレンジピール&その他の欠陥

なし

15

背面

ダメージフリー  エッチングされた

16

梱包  要件

真空にする必要があります  クラス '10'環境で二重層パッキングで封印されています。  2つのウエハーの荷送人または同等品  超クリーンポリプロピレン

スノー

項目

SCL  仕様

1

成長法

cz

2

ウェハ直径

150±0.5mm

3

ウェハの厚さ

675±25μm

4

ウェーハ表面  オリエンテーション

u003c100±2°

5

ドーパント

リン

6

転位  密度

未満  5000 / cm 2

8

抵抗率

4-7Ωcm

9

ラジアル  抵抗率の変動（最大）

15％

10

平坦度

＆emsp;

10a

・  弓（最大）

60μm

10b

・  tir（最大）

6μm

10c

・  テーパー（最大）

12μm

10d

・  ワープ（最大）

60μm

11

一次フラット

＆emsp;

11a

・  長さ

57.5±2.5mm

11b

・       オリエンテーション

{110}±2°ごとに  準標準

11c

二次平面

半期ごとに  標準

12

前面  仕上げ

鏡面研磨された

13

max。粒子  サイズ≧0.3μmの

30

14

・  傷、曇り、エッジチップ、

なし

オレンジの皮  &その他の欠陥

15

背面

鏡面研磨された

16

梱包  要件

真空にする必要があります  クラス '10'で封印
二重層パッキングの環境。
ウェーハは、フッ素製品で出荷されるべきです
オリオン2枚の荷送人またはそれに相当するもの
超クリーンなポリプロピレン製のもの

ウェハ直径

磨かれた

ウェーハ表面

ウェハの厚さ

抵抗率

粒子

オリエンテーション

4 "

1面

100/111

250〜500μm

0〜100

0.2μm≦0.30

6 "

1面

100

500〜675μm

0〜100

0.2μm≦0.30

8 "

1面

100

600〜750μm

0〜100

0.2μm≦0.30

12 "

2面

100

650-775μm

0〜100

0.09μm≦qty100

項目＃

パラメータ

単位

値

ノート

1

成長法

＆emsp;

cz

＆emsp;

2

オリエンテーション

＆emsp;

1-0-0

＆emsp;

3

抵抗率

Ωм.см

1-50

＆emsp;

4

タイプ/ドーパント

＆emsp;

р、n /

＆emsp;

ボロン、  リン

5

厚さ

мкм

1グラム。 - 620、

＆emsp;

2グラム。 〜650

3ヶ月。 - 680

4グラム。 - 700

5グラム。 - 720

6

gbir（ttv

мкм

1-3グレード。 u003c30、

＆emsp;

4-5グラム。 u003c20

7

glfr（tir

мкм

u003c10

＆emsp;

8

ワープ

мкм

u003c60

＆emsp;

9

弓

мкм

u003c40

＆emsp;

10

金属  汚染

1 /см2

＆lt; 3e10

＆emsp;

11

前面

＆emsp;

磨かれた

＆emsp;

12

前面  ビジュアル：

＆emsp;

＆emsp;

＆emsp;

曇り、傷、  汚れ、斑点

＆emsp;

なし

オレンジの皮

＆emsp;

なし

亀裂、クレーター

＆emsp;

なし

13

前側lpd：

＆emsp;

＆emsp;

ウェーハ枚数  記載されたパラメーター値はバッチの80％以上でなければならず、

＆lt; 0,12マイル

＆emsp;

u003c100

＆lt; 0,16м

＆emsp;

u003c50

＆lt; 0,20мм

＆emsp;

u003c20

＆lt; 0,30マイル

＆emsp;

u003c10