3インチのFeドープの転位密度を減少させるプロセス inpウェーハ 説明する。結晶成長プロセスは、従来の液体封入チョクラルスキー(lec)であるが、成長する結晶の熱勾配を減少させるために熱シールドが追加されている。これらのシールドの形状は、熱伝達および熱機械的応力の数値シミュレーションの助けを借りて最適化されています。 このプロセスは、計算と実験との間の連続フィードバックを用いて段階的に実施されている。熱応力の50%低減が得られている。エッティングピット密度(epd)およびX線回折(xrd)マッピングによって転位密度に及ぼすこれらの改良の影響が調査されている:転位密度は、特に結晶の上部で著しく減少している(70,000から40,000cm- 2)ので、マイクロエレクトロニクスアプリケーションの仕様に適合します。 sドープ3インチウェハについても同様の改善が得られている。 ソース:iopsc...
本論文では、新しい3次元(3D) フォトリソグラフィー 繊維基材上の高解像度微細パターン形成技術のための技術。非平面表面のリソグラフィ技術に関する簡単な概説も提示されている。提案された技術は、主に、3D露光モジュールの微細加工と、ファイバ上の薄いレジスト膜のスプレー堆積とを含む。石英基板のウェットエッチングと投影露光法によって3d露光モジュールがうまく準備される。 3D露光モジュールの主な利点は、長寿命、低コスト、狭い印刷ギャップ、したがって高解像度である。高解像度の微細パターン形成プロセスに必要な均一で薄いレジスト膜を繊維上に調製するための新規なスプレーコーティングシステムが開発されている。直径125μmの光ファイバのスプレーデポジションプロセスが系統的に調査されています。繊維上のスプレーコーティング堆積プロセスは主に衝突領域からなるので、レジスト溶液の粘度および揮発性は複雑な効果を有す...
酸素析出物の密度と光散乱強度が czシリコン 結晶は赤外光散乱トモグラフィーによって測定される。測定により明らかになった数値データを酸素析出量との関連で考察する。ここで得られた結果は、酸素析出物が光を散乱させるという理論的分析とよく一致している。赤外光散乱トモグラフィーによって得られた情報は、czシリコン結晶中の酸素の析出過程を非常によく説明し、この方法によって得られた析出物の密度は信頼できるものである。 ソース:iopscience 窒化ケイ素結晶構造、窒化ケイ素結晶構造、 炭化ケイ素ウエハー 私たちのウェブサイトをご覧ください: 、 私達に電子メールを送ってください または...
TeドープGaSb単結晶は、ホール効果、赤外線(IR)透過およびフォトルミネッセンス(PL)スペクトルを測定することによって研究されている。 Teのドーピング濃度と電気的補償の臨界制御により、IR透過率のn型GaSbを60%もの高さで得ることができることが分かった。天然のアクセプタ関連欠陥の濃度は、明らかに、Teドープされた GaSb ドーピングされていない、多量のTeドープされたGaSbのものと比較して、高IR透過率のメカニズムは、欠陥を伴う光吸収プロセスを考慮することによって分析される。 出典:IOPscience 窒化ケイ素結晶構造のような当社の製品についての詳細は、 フロートゾーンウェーハ 、 炭化ケイ素ウエハー 当社のウェブサイトをご覧ください:www.semiconductorwafers.net 、 私達に電子メールを送ってくださいangel.ye@powerwaywafer...
イオンビーム照射は、ナノスケールの半導体ピラーおよびコーン構造を作製する方法として検討されてきたが、ナノ構造の配置が不正確であるという欠点を有する。私たちはナノスケールの作成とテンプレート作成の方法について報告しています InAs InP基板上のホモエピタキシャルInAs膜とヘテロエピタキシャルInAsの両方の集束イオンビーム(FIB)照射によるスパイク。これらの「ナノスピン」は、FIB照射のために形成されたIn液滴が下にあるInAsのためのエッチマスクとして作用するように生成される。液滴の移動において、ホモエピタキシャルInAs上のナノスパイク位置を限定された精度で制御することができる。 InAs / InPヘテロ構造を使用してナノスピーカーを作成することにより、ナノスパイクがInPの露出領域上に形成されないため、スパイクが形成される場所をさらに制御する尺度が提供される。この効果は、In...
ザ SiCおよびGaNパワー半導体市場の開発 SiC技術と市場の現状、そして 今後数年間の開発動向 SiCデバイス市場は有望です。ショットキーバリアの販売 ダイオードは成熟し、MOSFET出荷は大幅に増加すると予想されている 今後3年間でYoleDéveloppementのアナリストによると、SiCは ダイオードに関しては非常に成熟しており、GaNはSiC MOSFETにはまったくチャレンジしていません 1.2kV以上の電圧で動作します。 GaNは650VのSiC MOSFETと競合する可能性があります SiCはより成熟しています。 SiCの販売は急速に伸び、 SiCはシリコンパワーデバイス市場から市場シェアを獲得し、 今後数年間に化合物の成長率は28%に達すると予測している。 IHS Markitは、SiC産業が ハイブリッドやハイブリッドなどのアプリケーションの成長に 電気自動車、パワ...
本論文では、完全結合三次元電気熱デバイスシミュレータを用いて、高電流動作時の平面劣化 G a N系発光ダイオード (LED)。特に、より厚い導電性GaN基板を用いた効率低下の改善が実証されている。第1に、薄い導電性GaN基板内の局所ジュール加熱は、内部量子効率(IQE)を低下させ、直列抵抗を増加させることが分かった。 次に、より厚い導電性GaN基板および基板内の電流密度および温度のシミュレートされた分布を導入した。その内部の最大電流密度は、 GaN基板 100μmの厚さの基板では、5μmの厚さの基板に比べて約6倍減少する。したがって、最大接合部温度が低下し、IQEおよび駆動電圧が向上します。本研究では、厚いGaN基板が高電流動作で平面LEDの特性を改善するのに有効であることを証明している。 出典:IOPscience もっと詳しく GaN系LEDエピタキシャルウエハ 、 中国ガリウム窒化物...
X線トポグラフィおよび化学エッチング検査 Si:Ge単結晶 1.2原子%および3.0原子%のGeを含有し、精密な格子パラメータ測定値と共に実施した。投影トポグラフでは、おそらくGe原子の不均一な分布による同心円の「準円」(縞模様)の形の回折コントラストが観察された。 エッチングパターンは、エッチングピットとしてのストリエーションおよび転位に対応するバンドを明らかにした。中央の「コア」結晶領域(ストリエーションフリー)は、断面形状分析から結論したように、微小欠陥によって強く乱された結晶格子を示した。格子パラメータ測定は、分布の不均一性を示している Ge原子 サンプル全体で もっと他のベスト PAM-XIAMENの 好きな商品 ゲルマニウムウェハー 、 エピウェーハ 、 エピタキシャルウェハ 歓迎する私たちのウェブサイト:semiconductorwafers.net 私達に電子メールを送って...