2020-03-17
2020-03-09
xiamen powerwayは、異なる配向（111）または（100）のn型、p型または半絶縁性を有するepi-readyまたは機械的グレードとしてlec（液体封入チョクラルスキー）によって成長させたインビボウェーハ - インジウムアンチモンを提供する。
xiamen powerwayは、異なる配向（111）または（100）のn型、p型または半絶縁性を有するepi-readyまたは機械的グレードとしてlec（液体封入チョクラルスキー）によって成長させたインビボウェーハ - インジウムアンチモンを提供する。
アンチモン化インジウム（insb）は、インジウム（In）およびアンチモン（sb）からなる結晶性化合物である。熱画像カメラ、フラワーシステム、赤外線原発ミサイル誘導システム、赤外線天文学などの赤外線検出器に使用されるiii-vグループの狭ギャップ半導体材料です。アンチモン化インジウムアンチモン検出器は、1〜5μmの波長の間で感度がある。インジウムアンチモンは、古い単一検出器の機械的に走査された熱画像形成システムにおける非常に一般的な検出器であった。別の用途は、テラヘルツ放射源として、それは強力なフォトデベント放射体であるためである。
| ウェーハ仕様 | |
| 項目 | 仕様 |
| ウェハ直径 | 2 "50.5±0.5mm 3 "76.2±0.4mm 4 "1000.0±0.5mm |
| 結晶方位 | 2 "（111）aorb±0.1° 3 "（111）aorb±0.1° 4 "（111）aorb±0.1° |
| 厚さ | 2 "625±25um 3 "800or900±25um 4 "1000±25um |
| 一次フラット長 | 2 "16±2mm 3 "22±2mm 4 "32.5±2.5mm |
| 二次フラット長 | 2 "8±1mm 3 "11±1mm 4 "18±1mm |
| 表面仕上げ | p / e、p / p |
| パッケージ | エピレディー、シングルウェーハコンテナまたはcfカセット |
| 電気およびドーピング仕様 | |||||
| 導電型 | n型 | n型 | n型 | n型 | p型 |
| ドーパント | 未払い | テルル | 低テルル | 高テルル | ジェネマイム |
| e.d.p cm -2 | 2 "3" 4 " ≤ 50 | 2 " ≤ 100 | |||
| 移動度cm²v -1 s -1 | ≥ 4 * 105 | ≥ 2.5 * 10 4 | ≥ 2.5 * 105 | 指定されていない | 8000-4000 |
| キャリア濃度cm -3 | 5 * 10 13 -3 * 10 14 | （ 1-7 ） * 10 17 | 4 * 10 14 -2 * 10 15 | ≥ 1 * 10 18 | 5 * 10 14 -3 * 10 15 |
xiamen powerwayは、異なる配向（111）または（（111）または（111）のn型、p型または半絶縁性のepi-readyまたはmechanicalグレードとしてlec（液体封入チョクラルスキー）またはvgf 100）。
xiamen powerwayは、エピタキシャルまたはメカニカルグレードのn型、p型または半絶縁性の異なる（111）または（100）のlec（液体封入チョクラルスキー）によって成長させたヒ化インジウム - インジウムを提供しています。
厦門 パワーウェイは、ギャップウェーハ - リン化ガリウム（lec）（液体 カプセル化されたチョクラルスキー）を、エピ型またはメカニカルグレードのn型、p型 （111）または（100）で半絶縁性であってもよい。
xiamen powerwayは、異なる向き（111）または（100）のn型、p型または半絶縁性のepi-readyまたはmechanicalグレードとしてlec（液体カプセル化されたチョクラルスキー）
pam-xiamenは、uhb-ledとldのためのフリースタンディング（窒化ガリウム）基板ウェーハ用の製造技術を確立しました。水素化物気相エピタキシー（hvpe）技術によって成長させると、我々のgan基板は欠陥密度が低い。
fz-シリコン フロートゾーン法により、異物含有率が低く、欠陥密度が低く、完全な結晶構造を有する単結晶シリコンが製造される。結晶成長中に異物が導入されない。 fzシリコンの導電率は通常1000Ωcm以上であり、fzシリコンは主に高逆電圧素子および光電子デバイスの製造に使用されます。11
pam-xiamenはフォトレジストでフォトレジスト板を提供 フォトリソグラフィー除去（ストリップ）、最終検査など、ナノリソグラフィー（フォトリソグラフィー）を提供することができます：フォトリソグラフィー、フォトレジスト塗布、ソフトベーク、アライメント、露光、現像、ハードベーク。11
xiamen powerwayは、異なる配向（111）または（（111）または（111）のn型、p型または半絶縁性のepi-readyまたはmechanicalグレードとしてlec（液体封入チョクラルスキー）またはvgf 100）。
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