2020-03-17
2020-03-09
大きな曲率を有する円筒形状を有する塑性変形したGe結晶ウェハは、中性子回折によって特徴付けられた。単色中性子回折で観測されるfwhmのΓbox≃2°の角度幅を持つブラッグ反射のボックス型ロッキングカーブは、角度積分強度(iθ)の向上をもたらす。また、このようなウエハを積み重ねることにより、効率的にiθが増加する。白色中性子回折の過程で焦点近傍の反射ビーム幅が初期のビーム幅よりもシャープになる。さらに、サンプルと検出器の間の距離に対する水平ビーム幅の依存性は、大きなΓbox、≒0.1°の小さなモザイクの広がり、およびウェハの厚さを考慮に入れて定量的に説明される。これらの特徴を基に、高輝度中性子モノクロメータの要素として塑性変形されたGeウェハの使用が提案されている。
キーワード
塑性変形されたウエハー;中性子モノクロメーター結晶;中性子ビーム焦点
ソース:sciencedirect
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