2020-03-17
2020-03-09
研磨されたウエハー
fz 研磨されたウェーハ 主にシリコン整流器(sr)、シリコン制御整流器(scr)、巨大トランジスタ(gtr)、サイリスタ(gro)
一目で私たちの利点
1.高度なエピタキシ成長装置および試験装置。
低欠陥密度と良好な表面粗さで最高品質を提供します。
3.顧客に対する強力なリサーチチームサポートと技術サポート
fzポリッシュウェーハ仕様
タイプ |
導電型 |
オリエンテーション |
直径範囲(mm) |
抵抗率 スコープ(Ωcm) |
幾何学的 パラメータ粒状性、表面金属 |
fz |
n& p |
< 100&< 111> |
76.2-200 |
> 1000 |
t ≥ 260 ( um ) テレビ ≤ 2 ( um ) ティル ≤ 2 ( um ) 攪拌する ≤ 1 ( um ) (20×20)粒状性 ≤ 10個( ≥ 0.3μm)、 ≤ 20個( ≥ 0.2μm)表面金属 ≤ 5e10 / cm 2 bsd:エッチピット濃度u003e 1e106 個数 /cm 2 ポリ:5000-12000 a |
ntdfz |
n |
< 100&< 111> |
76.2-200 |
30-800 |
|
cfz |
n& p |
< 100&< 111> |
76.2-200 |
1-50 |
|
gdfz |
n& p |
< 100&< 111> |
76.2-200 |
0.001〜300 |
czポリッシュウェーハ仕様
タイプ
導電型
オリエンテーション
直径 スコープ(mm)
抵抗率 スコープ(Ωcm)
幾何学的 パラメータ粒状性、表面金属
mcz
n& p
u003c100u003e < 110&< 111>
76.2-200
1~300
t ≥ 260 ( um ) テレビ ≤ 2 ( um ) ティル ≤ 2 ( um ) 攪拌する ≤ 1 ( um ) (20×20)粒状性 ≤ 10個( ≥ 0.3μm) 、 ≤ 20個( ≥ 0.2μm)表面金属 ≤ 5e10 / cm 2 bsd:エッチピット濃度u003e 1e10 6個 /cm 2 lto:3500〜8000±250a
cz
n& p
u003c100u003e < 110&< 111>
76.2-200
1~300
大きくmcz ドープ
n& p
< 100&< 111>
76.2-200
0.001-1