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炭化珪素エピタキシーの定義
  • 3-1。大きな点欠陥

    2018-01-08

    補助されていない目に対して明確な形状を示し、 50ミクロンを横切る。これらの機能には、スパイク、付着粒子、チップおよびクレーターが含まれます。 3mm未満の大きな点欠陥は1つの欠陥としてカウントされる。

  • 3-2。スクラッチ

    2018-01-08

    5:1よりも大きい長さ対幅の比を有するウェーハの表面の下の溝または切れ目を含む。スクラッチは、離散したスクラッチの数に分数直径の全長を掛けた数で指定される。

  • 3-3。ディンプル

    2018-01-08

    ゴルフボールの表面に似たテクスチャ。影響を受けた地域で指定されています。

  • 3-4。ステップバンチング

    2018-01-08

    ステップバンチングは、メジャーに垂直に平行な線のパターンとして表示されます。影響を受ける特定の領域の%を推定する。

  • 3-5。裏側の清潔さ

    2018-01-08

    ウェーハ裏面への均一な色を検査することによって検証される。いくつかのより高いドープされたウェハの中心近くにはより暗い領域があることに留意されたい。裏面の清浄度は、面積の清浄度として指定されています。

  • 3-6。エッジチップ

    2018-01-08

    材料が意図せずにウェーハから除去された領域。エピクラウンの割れとエッジチップとを混同しないでください。

  • 3-7。 IDが正しい、メジャーウェーハフラット

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    どちらも容易に識別可能でなければならない。

  • 3-8。 3c介在物

    2018-01-08

    epi層の成長中にstep-downが中断された領域。典型的な領域は一般に三角形であるが、より丸い形状が時々見られる。発生ごとに1回カウントします。 200ミクロン内の2つの含有物は1つとみなされる。

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