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シリコンウェーハ

エピタキシー:

\u003c5 / cm 2、\u003c10 / cm 2、\u003c30 / cm 2、および\u003c/ u\u003eのような異なる品質グレードのマイクロタイプ4hおよび6h、マイクロパイプ密度(mpd) ; 100 / cm 2

sicエピタキシー:ウェーハ - ウェーハ厚さ均一性:2%、ウェーハ - ウェーハドーピング均一性:4%

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