ガースウェーハ基板 - ヒ化ガリウム

量

材料

オリエンテーション。

直径

厚さ

研磨

抵抗率

型ドーパント

NC

移動性

epd

個数

（mm）

（μm）

Ω・cm

＆emsp;

a / cm3

cm 2 /対

/ cm 2

1-100

ガウス

usd -100.00

usd 25.40

4000±50

DSP

＆gt; 1e7

未払い

該当なし

該当なし

\u003c1e5

1-100

ガウス

usd -100.00

usd 50.70

350-370

ssp

＆gt; 1e7

未払い

該当なし

＆gt; 3500

\u003c10000

1-100

ガウス

（100）（011）に向かって2°±0.50オフ

usd 50.70

350±10

ssp

（0.8-9）e ^-3

n / si

（8）e17

2000-3000

\u003c5000

1-100

ガウス

（100）（011）に向かって6°±0.50オフ

usd 50.70

350±20

ssp

（0.8-9）×10 ^-3

n / si

（0.2-4）e18

1000以上

≤5000

1-100

ガウス

usd -100.00

usd 50.80

usd 350.00

ssp

該当なし

p / zn

（1-5）e19

該当なし

\u003c5000

1-100

ガウス

usd -100.00

usd 50.80

5000±50

ssp

＆gt; 1e8

未払い

該当なし

該当なし

該当なし

1-100

ガウス

usd -100.00

usd 50.80

4000±50

ssp

＆gt; 1e7

未払い

該当なし

該当なし

該当なし

1-100

ガウス

usd -100.00

usd 50.80

8000±10

カットとして

＆gt; 1e7

未払い

該当なし

該当なし

該当なし

1-100

ガウス

usd -100.00

usd 50.80

8000±10

DSP

＆gt; 1e7

未払い

該当なし

該当なし

該当なし

1-100

ガウス

（100）2°

usd 50.80

usd 3,000.00

ssp

＆gt; 1e7

n / si

該当なし

該当なし

該当なし

1-100

ガウス

usd -100.00

usd 50.80

350±25

ssp

＆gt; 1e7

該当なし

（1-5）e19

該当なし

該当なし

1-100

ガウス

usd -100.00

usd 50.80

350±25

ssp

該当なし

該当なし

（0.4~3.5）e18

1400

≤100

1-100

ガウス

（100）0°または2°

usd 76.20

130±20

DSP

該当なし

未払い

該当なし

該当なし

\u003c10000

1-100

ガウス

（100）2°±0.50

usd 76.20

350±25

ssp

該当なし

n / si

（0.4-2.5）e18

該当なし

≤5000

1-100

ガウス

usd -100.00

usd 76.20

350±25

ssp

該当なし

該当なし

該当なし

該当なし

該当なし

1-100

ガウス

usd -100.00

usd 76.20

350±25

ssp

＆gt; 1e7

未払い

該当なし

該当なし

≤8e4または1e4

1-100

ガウス

usd -100.00

usd 76.20

625±25

DSP

＆gt; 1e7

未払い

該当なし

≧4500

≤8e4または1e4

1-100

ガウス

（100）に向かって2°±0.10オフ（110）

usd 76.20

usd 500.00

ssp

＆gt; 1e7

未払い

該当なし

該当なし

該当なし

1-100

ガウス

（100）2°

usd 100.00

usd 625.00

DSP

＆gt; 1e7

未払い

該当なし

該当なし

該当なし

1-100

ガウス

（100）2°

usd 100.00

625±25

DSP

該当なし

該当なし

該当なし

該当なし

該当なし

1-100

ガウス

（100）（011）に向かって2°±0.50オフ

usd 100.00

350±25

ssp

該当なし

n / si

（0.4~3.5）e18

該当なし

≤5000

1-100

ガウス

（100）に向かって2°±0.10オフ（110）

usd 100.00

625±25

DSP

（1-4）e18

未払い

該当なし

該当なし