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2-14マスキング欠陥

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-14マスキング欠陥

2018-01-08

「マウンド」とも呼ばれる。


1つの欠陥が他の欠陥の検出を妨げると、検出されなかった欠陥はマスクされた欠陥と呼ばれる。

拡散照明で見た場合のウェハの前面の上に明確な隆起領域が形成される。

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