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2-32間絶縁

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-32間絶縁

2018-01-08

バナジウムの不純物による半絶縁ドーピングは、炭化ケイ素の半絶縁材料を生成する。

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