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2-34化学機械研磨

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-34化学機械研磨

2018-01-08

化学的機械的研磨/平坦化は、化学的および機械的力の組合せによって表面を平滑化するプロセスであるcmpほど短い。化学的エッチングと自由研磨研磨のハイブリッドと考えることができる。

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