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2-37。テストグレード

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-37。テストグレード

2018-01-08

試験グレード：プライムよりも品質の低い炭化ケイ素ウエハーで、主にプロセスのテストに使用されます。 semiは、炭化ケイ素ウェハを「テストウェハ」として分類するのに必要なバルク、表面、および物理的特性を示す。

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