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3-11。粒子

炭化珪素エピタキシーの定義

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3-11。粒子

2018-01-08

粒子は目の外観を有しており、存在する場合には、通常、ウェハの縁部に集中し、特定された領域内には存在しない。存在する場合は、1回の出現につき1回カウントする.200ミクロン内の2つの粒子は1としてカウントされる。

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