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3-5。裏側の清潔さ

炭化珪素エピタキシーの定義

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3-5。裏側の清潔さ

2018-01-08

ウェーハ裏面への均一な色を検査することによって検証される。いくつかのより高いドープされたウェハの中心近くにはより暗い領域があることに留意されたい。裏面の清浄度は、面積の清浄度として指定されています。

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