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3-8。 3c介在物

炭化珪素エピタキシーの定義

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3-8。 3c介在物

2018-01-08

epi層の成長中にstep-downが中断された領域。典型的な領域は一般に三角形であるが、より丸い形状が時々見られる。発生ごとに1回カウントします。 200ミクロン内の2つの含有物は1つとみなされる。

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