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5-2-2-2半導体の電気的特性

5.炭化ケイ素技術

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5-2-2-2半導体の電気的特性

2018-01-08

Si結晶格子内のSi原子とC原子の配置が異なるため、各ポリタイプ

固有の基本的な電気的および光学的特性を示す。より重要な半導体のいくつか

3c、4hおよび6hポリポリタイプの電気的特性を表5.1に示す。はるかに

詳細な電気的特性は参考文献11〜13およびその中の参考文献に見出すことができる。 〜の中でさえ

ポリタイプが与えられると、いくつかの重要な電気的特性は非等方性であり、それらは強力な機能である

電流の結晶学的方向および印加された電場(例えば、電子移動度

6時間の間)。 sic中のドーパント不純物は、エネルギー的に不等な部位に取り込むことができる。すべて

様々なドーパント組み込みサイトに関連するドーパントイオン化エネルギーは、通常、

表5.1には各イオンの最も浅く報告されたイオン化エネルギーのみが記載されています

不純物。


表5.1主要ポリタイプの重要な半導体電子特性の比較

300 kでシリコン、ガー、2hガン



比較のために、表5.1にはシリコン、ガー、ガンの同等の特性も含まれています。なぜなら

シリコンは、ほとんどの商用ソリッドステートエレクトロニクスで採用されている半導体であり、標準である

それに対して他の半導体材料を評価しなければならない。さまざまな程度まで

ポリタイプは、シリコンと比較して基本的な材料特性に利点と欠点を示す。その

表5.1に挙げられているシリコン上の最も有益な本質的な材料優位性は、例外的に

高耐圧電界、ワイドバンドギャップエネルギー、高熱伝導率、高キャリア飽和

速度。これらの特性のそれぞれが議論される電気装置の性能上の利益

次のセクションでは、改善されたデバイスによって実現されるシステムレベルのメリットもそうです。

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