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5.炭化ケイ素技術

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5-5デバイスの基本

2018-01-08

シリコンエレクトロニクスの開発コストと製造コストを最小限に抑えるためには、シリコンデバイスの製造に既存のシリコンとガーアのウェーハ処理インフラストラクチャを可能な限り活用することが重要です。このセクションで説明するように、シリコンウエハから出発してシリコンエレクトロニクスを製造するのに必要なステップの大部分は、若干変更された市販のシリコンエレクトロニクスプロセスおよび製造ツールを使用して達成することができる。


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