2020-03-17
2020-03-09
q:mocvdの後、p-ganの起動のためにウェーハをアニーリングしますか? a:はい!我々は、p-gan活性化のためにウエハをアニールする
q:pssウェハの場合、サファイアではなくp-gan側から光が出てくるので、フリップチップパッケージはできません。また、私はレーザーのリフトオフがpssウェーハで可能かどうかはわかりません。 a:led光はmqw光から調光し、全方向に放射し、p-ganは正(前面)であり、自然に光を発し、各背面も光を発する。サファイアの底部もまた光である。他の角度からの反射光、以下を参照してください。 上部のイメージは伝統的なリードパッキングです。 フリップチップパッキングです。
q:このイングアンウェーハの光学特性データがありますか?私たちは光学的に励起されたときに放出される波長を知りたいと思っています。 plスペクトルは完璧であろう。また、どんなバッファ層でも成長しているのでしょうか?インジウム組成の均一性は何ですか?どのような分離やクラスターですか? a:我々のxrdデータによれば、濃度が3つすべて(10%、20%、30%)、〜34.5度にピークがある。 plスペクトルが添付されたものとして好ましい。
q:転位密度\u003cどのような特徴からサファイアのガンの1e8? a:刃状転位と転位の混在を考慮し、xrd
q:siドープガンについては、抵抗率と移動度はどのくらいですか? a:移動度:150-200抵抗率\u003c0.05ohm.cm、
q:実際には、ウェーハ上のLED構造の反射率(ミラータイプ)測定方法を確認したいと考えています。 pssウェーハと片面研磨ウェーハの両方で同じLED構造を得ることができるので、2つを直接比較することができますか? a:確かに。