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  • 非極性及び半極性アンモニア熱基質

    2018-Apr-24

    本論文では、非熱的方法による非極性(すなわち、m面およびa面)および半極性(すなわち、(20.1)面)ウェハの開発について概説する。成長方法および研磨結果について説明する。我々は、26mm×26mmの非極性および半極性のウエハを製造することに成功した。これらのウェーハは、104cm-3程度の貫通転位密度を有する顕著な構造的および光学的特性を有する。ホモエピタキシャル層およびアルガンヘテロ構造の詳細な研究も示され、オプトエレクトロニクスデバイスの製造における研究されたアモノサーマル基板の可能性を示している。 ソース:iopscience 詳細については、当社のウェブサイトをご覧ください: http://www.semiconductorwafers.net 、 私達に電子メールを送ってください angel.ye@powerwaywafer.com または powerwaymaterial@g...

  • エピタキシャル強誘電体ナノディスクとナノ構造のウェハスケールアレイ

    2018-Apr-24

    レーザ干渉リソグラフィを用いて、srtio3単結晶基板上のsrruo3下部電極の全領域(10mm×10mm)上に、秩序だったpb(zr0.2x0.8)o3ナノディスクおよびナノ構造のウェハスケールアレイを作製した(lil)プロセスとパルスレーザ堆積を組み合わせたものである。ナノ構造の形状およびサイズは、パターン化された穴を通して堆積されたpztの量および結晶化後工程の温度によって制御された。 X線回折および透過型電子顕微鏡法により、(001)配向単結晶基板を覆うsrruo3(001)下部電極層上に(001)配向pztナノ構造がエピタキシャル成長することが確認された。 pztナノ島のドメイン構造は、シンクロトロンX線放射を用いた相互空間マッピングによって特徴付けられた。各圧電ナノ構造の強誘電特性は、圧電応答モードでの走査型力顕微鏡によって特徴付けられた。 ソース:iopscience 詳細に...

  • 化学ビームエピタキシー成長InAs / Inbナノワイヤヘテロ構造

    2018-Jul-11

    我々は、欠陥のない閃亜鉛鉱インブナノワイヤのau支援化学ビームエピタキシ成長を報告する。成長した インブ セグメントは、inas(111)b基板上のInAs / Inbヘテロ構造の上部セクションである。我々は、時間分解分析を用いて、閃亜鉛鉱insbが、積層欠陥または双晶面のような結晶欠陥なしに成長できることを示す。 歪みマップ解析は、界面から数ナノメータ以内でinsbセグメントがほぼ緩和されていることを示している。成長後の研究により、触媒粒子組成がauin2であり、tdmasbフラックス下で試料を冷却することによって、auin合金に変化させることができることを見出した。 ソース:iopscience 詳細については、当社のウェブサイトをご覧ください:www.semiconductorwafers.net 、 私達に電子メールを送ってくださいangel.ye@powerwaywafer.co...

  • 走査型トンネル顕微鏡で調べたガスバリア性の高張力下準単層Geナノ構造

    2018-Aug-15

    高引っ張り歪みサブ単層Geナノ構造 ガス 分子線エピタキシーにより成長させ、超高真空走査トンネル顕微鏡法によって研究した。 gasb上のGeナノ構造の4つの異なる被覆率が達成され、調査される。 gasb上のGeの成長が2d成長モードに従うことが見出される。サブ単層の結晶格子 ゲ ナノ構造は気体の構造とコヒーレントであり、Geナノ構造における引っ張り歪みが7.74%と大きいと推測される。 ソース:iopscience 詳細については、当社のウェブサイトをご覧ください:www.semiconductorwafers.net 、 私達に電子メールを送ってくださいangel.ye@powerwaywafer.com またはpowerwaymaterial@gmail.com...

  • 織物2D SiC / SiC複合材料の弾性定数の最適決定

    2019-Jan-21

    均質材料の場合、ほとんどニュートンのアルゴリズムに基づいた数値最適化プロセスに関連する超音波浸漬法は、様々な合成および天然複合材料の弾性定数の決定を可能にします。それにもかかわらず、考慮されている材料が同次仮説の限界にあるとき、既存の最適化手順の主な制限が生じる。これは、織物双方向SiCマトリックスの場合である。 SiC繊維 複合材料。 本研究では、2次元SiCの弾性定数を決定するための2つの数値解析法を開発した。 SiC複合材料 (2D SiC / SiC)。最初のものはニュートンのアルゴリズムに基づいています:弾性定数は実験と計算された速度の間の平方偏差を最小にすることによって得られます。 2番目の方法は、Levenberg-Marquardtアルゴリズムに基づいています。我々は、これらのアルゴリズムが均質異方性複合材料の場合に同じ結果を与えることを示す。 2D SiC / SiC複合...

  • 高成長速度と大面積均一性を実現した4H – SiCエピタキシャル成長技術の開発

    2019-Feb-19

    高い成長速度と大面積の均一性を同時に達成することを可能にする垂直ホットウォールエピリアクタが開発された。 250μm/ hの最大成長速度は、1650℃で鏡のような形態で達成されます。修正下 エピリアクター 79μm / hの高い成長速度を維持しながら、半径65mmの領域に対して1.1%の厚さ均一性および6.7%のドーピング均一性が達成される。半径50mmの領域に対して、約1×1013cm − 3の低いドーピング濃度が得られる。低温フォトルミネッセンス(LTPL)スペクトルは、不純物に関連するピークがほとんどなく、L1ピークが検出限界以下の自由励起子ピークが優勢であることを示しています。 80μm / hで成長したエピ層の深準位過渡分光法(DLTS)測定は、低いトラップ濃度Z 1/2:1.2×10 12およびE H 6/7:6.3×10 11 cm -3を示す。 A 厚さ280 µmのエピ層...

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