X線トポグラフィおよび化学エッチング検査 Si：Ge単結晶 1.2原子％および3.0原子％のGeを含有し、精密な格子パラメータ測定値と共に実施した。投影トポグラフでは、おそらくGe原子の不均一な分布による同心円の「準円」（縞模様）の形の回折コントラストが観察された。
エッチングパターンは、エッチングピットとしてのストリエーションおよび転位に対応するバンドを明らかにした。中央の「コア」結晶領域（ストリエーションフリー）は、断面形状分析から結論したように、微小欠陥によって強く乱された結晶格子を示した。格子パラメータ測定は、分布の不均一性を示している Ge原子 サンプル全体で
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