www.semiconductorwafers.net ダイレクト・ウェーハ・ボンディング技術は、2つの平滑なウェーハを統合することができ、従って、格子不整合を有するIII-V多接合太陽電池の製造に使用することができる。利得/ガードとイングアスプ/インナササブセルとの間をモノリシックに相互接続するためには、結合されたga / inpヘテロ接合は高導電性オーミック接合またはトンネル接合でなければならない。 導電型とドーピング元素を調整して3種類の接合界面を設計した ガウス そして inp 。 p-GaAs（znドープ）/ n-inp（siドープ）、p-ga（cドープ）/ n-inp（siドープ）およびn-ga（siドープ）/ n-inp（Siドープ） ）結合ヘテロ接合をi-v特性から分析した。ウェーハボンディングプロセスは、サンプル表面の品質を改善し、ボンディング温度、ボンディング圧力、ボン...
3インチのFeドープの転位密度を減少させるプロセス inpウェーハ 説明する。結晶成長プロセスは、従来の液体封入チョクラルスキー（lec）であるが、成長する結晶の熱勾配を減少させるために熱シールドが追加されている。これらのシールドの形状は、熱伝達および熱機械的応力の数値シミュレーションの助けを借りて最適化されています。 このプロセスは、計算と実験との間の連続フィードバックを用いて段階的に実施されている。熱応力の50％低減が得られている。エッティングピット密度（epd）およびX線回折（xrd）マッピングによって転位密度に及ぼすこれらの改良の影響が調査されている：転位密度は、特に結晶の上部で著しく減少している（70,000から40,000cm- 2）ので、マイクロエレクトロニクスアプリケーションの仕様に適合します。 sドープ3インチウェハについても同様の改善が得られている。 ソース：iopsc...
イオンビーム照射は、ナノスケールの半導体ピラーおよびコーン構造を作製する方法として検討されてきたが、ナノ構造の配置が不正確であるという欠点を有する。私たちはナノスケールの作成とテンプレート作成の方法について報告しています InAs InP基板上のホモエピタキシャルInAs膜とヘテロエピタキシャルInAsの両方の集束イオンビーム（FIB）照射によるスパイク。これらの「ナノスピン」は、FIB照射のために形成されたIn液滴が下にあるInAsのためのエッチマスクとして作用するように生成される。液滴の移動において、ホモエピタキシャルInAs上のナノスパイク位置を限定された精度で制御することができる。 InAs / InPヘテロ構造を使用してナノスピーカーを作成することにより、ナノスパイクがInPの露出領域上に形成されないため、スパイクが形成される場所をさらに制御する尺度が提供される。この効果は、In...
直接接合の上に成長させた1.5aμmGaInAsPレーザダイオード（LD）の接合温度依存レーザ発振特性 InP基板 または Si基板 正常に取得されました。私達は作りました InP 基板 ３５０、４００、および４５０℃の接合温度で直接親水性ウェハ接合技術を使用し、または堆積されたＧａＩｎＡｓＰまたは InP二重ヘテロ構造層 このＩｎＰ ／ Ｓｉ基板上に。成長後の表面状態、Ｘ線回折（ＸＲＤ）分析、フォトルミネッセンス（ＰＬ）スペクトル、および電気的特性をこれらの結合温度で比較した。これらの接合温度におけるＸ線回折分析およびＰＬスペクトルに有意差は確認されなかった。 350℃と400℃で接合したInP / Si基板上にGaInAsP LDの室温レーザ発振を実現した。しきい値電流密度は、３５０℃で４．６５ｋＡ ／ ｃｍ ２、４００℃で４．３８ｋＡ ／ ｃｍ ２であった。電気抵抗はアニーリング温度...
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