上へのGaSb膜成長の直交実験 GaAs基板 低圧有機金属化学気相成長（LP-MOCVD）システムを使用して設計され、実行されています。製造されたフィルムの結晶度および微細構造は、最適な成長パラメータを達成するために比較的分析された。
最適化されたＧａＳｂ薄膜は、（００４）ωロッキングカーブの半値全幅（３５８秒角）、および約６ｎｍの低い二乗平均平方根粗さを有する滑らかな表面を有することが実証された。これはヘテロエピタキシャル単結晶膜の場合に典型的である。また、GaSb薄膜の層厚が転位密度に及ぼす影響をラマンスペクトルにより調べた。我々の研究は製造のための貴重な情報を提供できると信じられています。 高結晶性GaSb膜 そして、主流の性能を有する電子装置上に製造された中赤外線装置の集積確率を促進することができる。
ソース：iopscience
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