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ゲルマニウム基板上の高性能 InAs 量子井戸ベースの Corbino 磁気抵抗センサー

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ゲルマニウム基板上の高性能 InAs 量子井戸ベースの Corbino 磁気抵抗センサー

2019-04-25

高品質の InAs/Al0.2Ga0.8Sb 量子井戸構造は、分子線エピタキシー (MBE) によってゲルマニウム基板上に成長しました。nS=1.8×1012 cm-2 のシート濃度で 27,000 cm2/Vs の電子移動度が、ゲルマニウム基板上の非ドープ InAs/Al0.2Ga0.8Sb 量子井戸構造で室温で日常的に達成されました。Corbino 磁気抵抗デバイスを製造するための簡単な処理技術を開発しました。0.15 T の磁場で 195 Ω/T の優れた電流感度と 2.35 T-1 の電圧感度が、室温でゲルマニウム基板上の Corbino 形状の磁気抵抗器について測定されました。この検出性能は、 GaAs基板上の同一のセンサーによって得られるものに匹敵します。


出典:IOPサイエンス

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