2020-03-17
2020-03-09
低圧水素化物気相エピタキシー（lp-hvpe）により、無極性a面およびm面アルン層をそれぞれa面およびm面6h面基板上で成長させた。成長温度の影響を調べた。結果はa面とm面の両方の灰層の温度を上げることによって表面粗さが減少することを示した。走査型電子顕微鏡法および原子間力顕微鏡法により、面内の形態学的異方性を明らかにした。これを用いて、温度による形態変化および構造変化を画像化した。軸上X線ロッキングカーブの異方性も、高分解能X線回折によって検出された。しかし、a面のアルン層と比較して、良好な結晶品質を有するm面のアルン層については平滑な表面が容易に得られた。最適な温度は、m面のアルン層の方が、a面のアルン層よりも低かった。偏極ラマンスペクトルを用いて無極性灰層の応力特性を調べた。結果は、エピタキシャル無極性灰層内の異方性面内応力の存在を示した。
キーワード
a1。面内異方性; a1。無極性; a1。ラマンスペクトル; a3。ハイドライド気相エピタキシー; b2。 a面およびm面のaln; b2。基板
ソース：sciencedirect
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