層

組成

厚さ（um）

ドーピング（cm -3）

キャップ

p + - ガース

0.2

zn：＆gt; 1e19

被覆

p - al0.8ga0.2as

1

zn：1e18

エッチストップ

ゲインパ

0.008

zn：1e18

トップバリア

al0.45ga0.55as

0.09

未払い

よく

al0.18ga0.82as

0.004

未払い

バリア

al0.45ga0.55as

0.01

未払い

よく

al0.18ga0.82as

0.004

未払い

バリア

al0.45ga0.55as

0.01

未払い

よく

al0.18ga0.82as

0.004

未払い

ボトムバリア

al0.45ga0.55as

0.09

未払い

被覆

n - al0.8ga0.2as

1.4

si：1e18

バッファ

n - ガース

0.5

si：1e18

基板

n + - ガース

＆emsp;

s：＆gt; 1e18