2020-03-17
2020-03-09
自立ガン基板のボーイング曲率は、n極性面での誘導結合プラズマ(icp)エッチング時間の増加に伴い、0.67から0.056m-1(すなわち、ボーイング半径が1.5から17.8mに増加)にほぼ直線的に減少した最終的にボーイング方向を凸面から凹面に変更しました。さらに、(0 0 2)反射における高分解能X線回折(hr xrd)の半値全幅(fwhm)に及ぼすボーイング曲率の影響もまた推測され、これは176.8から88.8 arcsecエッチング時間はicpである。多量の欠陥を除去したn極性面からgan層を除去する際の貫通転位および点欠陥の不均一分布ならびにvga-on複合欠陥の減少が、自由流動層のボーイングを改善した理由の1つであった。立っているガン基板。別の理由は、icpエッチング後にn極性面に現れた針状ガンの高アスペクト比であり、これは自立型ガン基板の圧縮歪みを解放した。このようにすることにより、17.8μmの曲げ半径を有するき裂のない、非常に平らな自立型ガン基板を得ることができた。
キーワード
a1。エッチング; a1。ガン基質; a3。ハイドライド気相エピタキシー; b1。窒化物; b2。ガン
ソース:sciencedirect
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