2020-03-17
2020-03-09
現場での研究のための発光分光法の能力、およびプラズマ増強原子層堆積（pe-ald）の制御リン化ガリウム水素によって運ばれるホスフィンおよびトリメチルガリウムから調べた。ポンドプロセス中に変化するガス組成を、ホスフィンおよび水素ラインの発光強度の現場測定によって監視した。リンおよびガリウムの堆積ステップが時間的に分離されている犠牲のプロセスでは、過剰なリン蓄積がチャンバ壁に及ぼす悪影響が観察された。実際には、ph3分解工程の間に壁に堆積したリンは、制御不能かつ望ましくない従来のプラズマ強化化学気相成長につながる次のトリメチルガリウム分解工程中に水素プラズマによってエッチングされる。この効果を減少させるために、ガリウム堆積ステップの開始前に過剰のリンをエッチングして原子層堆積成長モードを達成することを可能にする水素プラズマエッチングのステップを導入することが提案されている。
ソース：iopscience
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