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q：マイクロ波アニーリング用です。したがって、炭化ケイ素はマイクロ波を吸収できなければならないのですか？

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q：マイクロ波アニーリング用です。したがって、炭化ケイ素はマイクロ波を吸収できなければならないのですか？

2017-12-26

q：マイクロ波アニーリング用です。したがって、炭化ケイ素はマイクロ波を吸収できなければならないのですか？


a：6hと4hの誘電率が大きいので、ICウエハが電磁波マッチングの構造設計を通して主に達成する吸収材料であるならば、それが正しいかどうかわからない。

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