2020-03-17
2020-03-09
q：ウェーハが耐えられる最高温度と最高熱衝撃は何ですか？
a：6h-sic（0001）のSi面の自由表面上の1000℃より高い温度で、炭素分離特性が開始され、短時間の間に表面層からのSi逃げにより薄い炭素層が現れる。 （空気中のヒートヒヒ、炭素が酸素と相互作用し、炭素層が出現しない場合は、酸化物層（sio2）のみが形成される）をC面（000-1）上に形成すると、このプロセスは600~700℃で開始される。パイプの近くでは、より低温でこれらの特性を開始することができます！
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