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炭化ケイ素

4.炭化ケイ素(sic)の定義

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炭化ケイ素

2018-01-08

炭化ケイ素(SiC)は、化学式sicを有するケイ素と炭素の化合物である。非常にまれなミネラルモイスサイトとして自然界に生息しています。炭化ケイ素粉末は、研磨材としての使用のために1893年以来量産されている。炭化ケイ素の粒子を焼結により結合させて、非常に硬いセラミックを形成することができ、これは、車ブレーキ、車のクラッチ、防弾チョッキのセラミックプレートなどの高耐久性を必要とする用途に広く使用されている。 1907年頃に発光ダイオード(leds)や検出器としての炭化ケイ素の電子応用が最初に実証され、現在は高温/高電圧半導体エレクトロニクスで広く使用されています。炭化ケイ素の大きな単結晶は、リーリー法によって成長させることができる。それらは合成モイスサイトとして知られている宝石に切断することができます。高い表面積を有する炭化ケイ素は、植物材料に含まれるsio2から製造することができる。


ここで合成された合成粉末は、最も純度の高い条件下で黒鉛坩堝内で蒸発する。六角形の小板を形成するるつぼ内の多孔質グラファイト壁で昇華する。この方法は、1970年代後半にtairovとtsvetkovによって昇華技術を植え付けた後に拡張されました。より一般的にpvt(物理的蒸気輸送)と呼ばれる後者の方法は、大口径のブールを製造するためにさらに改良され、これらの技術の様々な変更が世界中の多くの研究所で現在使用されている。直径150mmのバルク単結晶を用意しました。


従来の半導体では十分に性能を発揮できない高温、高出力、高輻射条件用の炭化珪素(SiC)系半導体電子デバイスおよび回路が現在開発されている。このような過酷な条件下で機能する炭化ケイ素の能力は、公共電力配電および電動モータードライブにおけるエネルギー節約のために大幅に改善された高電圧スイッチングからより強力なものまで、多種多様な用途およびシステムの大幅な改善を可能にすることが期待されている燃費の良いジェット機や自動車用エンジンのクリーン燃焼用センサーや制御装置へのレーダーや通信のためのマイクロ波電子機器。パワーデバイスの特定の分野では、理論的な評価により、電源モスフェットおよびダイオード整流器はより高い電圧および温度範囲で動作し、優れたスイッチング特性を持ち、対応する定格のシリコンベースのデバイスよりも約20倍小さいダイサイズを有することが示されています。しかし、これらの驚異的な理論的利点は、市販されているデバイスでは、主に、比較的未成熟の結晶成長およびデバイス製造技術が、ほとんどの電子システムへの信頼できる組み込みに必要な程度まで十分に開発されていないため、

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