2020-03-17
2020-03-09
III-V窒化物膜堆積のための基板
結晶 |
構造 |
m.p. |
密度 |
格子不一致 ギャーン |
熱膨張 |
成長技術。 & 最大サイズ |
標準基板 サイズ(mm) |
o c |
g / cm 3 |
(10 -6 / k) |
|||||
ic (例として6h) |
六角 |
〜2700 |
3.21 |
3.5%atori。 |
10.3 |
cvd |
Ø2 \"×0.3、Ø3\"×0.3 |
a =3.073Å |
  |
  |
20x20x0.3,15x15x0.3 |
||||
c =15.117Å |
  |
Ø3 \" |
10x10x0.3,5x5x0.3 |
||||
  |
subl。 |
  |
1面エポリッシュ |
||||
アル 2 o 3 |
六角 |
2030年 |
3.97 |
14%atori。 |
7.5 |
cz |
Ø50×0.33 |
a =4.758Å |
  |
Ø25×0.50 |
|||||
c =12.99Å |
Ø2 \" |
10x10x0.5 |
|||||
  |
  |
1または2面研磨 |
|||||
ラリアー 2 |
正方晶系 |
1900年〜 |
2.62 |
1.4%atori。 |
/ |
cz |
10x10x0.5 |
a =5.17Å |
Ø20mm |
1または2面研磨 |
|||||
c =6.26Å |
  |
  |
|||||
リガオ 2 |
オーソラ |
1600 |
4.18 |
0.2%atori。 |
/ |
cz |
10x10x0.5 |
a =5.406Å |
Ø20mm |
1または2面研磨 |
|||||
b =5.012Å |
  |
  |
|||||
c =6.379Å |
  |
  |
|||||
mgo |
キュービック |
2852 |
3.58 |
3%atori。 |
12.8 |
フラックス |
2 \"x2\" x 0.5 mm、Ø2 \"x 0.5 mm |
a =4.216Å |
  |
1 \"x1\" x 0.5 mm、Ø1 \"x 0.5 mm |
|||||
  |
Ø2 \" |
10×10×0.5mm |
|||||
1または2面研磨 |
|||||||
mgal 2 o 4 |
キュービック |
2130 |
3.6 |
9%atori。 |
7.45 |
cz |
Ø2 \"×0.5 |
a =8.083Å |
Ø2 \" |
10x10x0.5 |
|||||
  |
  |
1または2面研磨 |
|||||
ゼノ |
ヘキサグ。 |
1975 |
5.605 |
2.2%atori。 |
2.9 |
水熱 |
20x20x0.5 |
a =3.325Å |
20mm |
1または2面研磨 |
|||||
c =5.213Å |
  |
  |
|||||
ガン |
六角 |
  |
6.15 |
  |
5.59 |
  |
10x10x0.475mm |
  |
  |
5x5x0.475mm |