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2-1。ウェハ直径

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-1。ウェハ直径

2018-01-08

スライス中心を含む円形のスライスの表面を横切る線形距離であり、任意の平坦面または他の周辺の基準点を含まない。標準シリコンウェハの直径は、25.4mm、50.4mm、76.2mm、100mm、125mm、150mm、200mmです。 、および300mm(12インチ)。


ウェーハの表面にわたる線形寸法。測定は、個々のウェーハ上の認証されたデジタルキャリパーで手動で実行されます。

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