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2-12.edge除外

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-12.edge除外

2018-01-08

ウェーハの外環はウェーハハンドリング領域として指定され、表面のスクラッチ、ピット、曇り、汚染、クレーター、ディンプル、溝、マウンド、オレンジピールおよびソーマークなどの表面基準から除外されます。この環は、76.2mmの基板で2mm、100.0mmの基板で3mmである。

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