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2-11.edgeチップ

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-11.edgeチップ

2018-01-08

半径方向の深さまたは幅のいずれかにおいて1.0mmを超える任意のエッジ異常（ウェーハソー出口マークを含む）。拡散照明の下で見ると、エッジチップは、ウェーハのエッジから意図せずに欠落した材料として決定される。

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