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2-16.pits

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-16.pits

2018-01-08

個々の識別可能な表面異常は、ウェハ表面に窪みとして現れる 5：1未満の縦横比を有し、高輝度照明下で可視である。


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