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2-17。ポリタイプ

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-17。ポリタイプ

2018-01-08

多くの複合材料は多形性を示し、すなわちそれらは多形体と呼ばれる異なる構造で存在し得る。この点に関して、炭化ケイ素(SiC)は、これに関して独特であり、炭化ケイ素の250以上の多形が2006年までに同定されており、それらのうちのいくつかは、通常のSiC格子間隔の約1000倍の301.5nmの格子定数を有する。


sicの多形は、薄膜および繊維において観察される様々な非晶質相ならびにポリタイプと呼ばれる類似の結晶構造の大きなファミリーを含む


4h型基板と混合された6hのような、多結晶であるウェーハ結晶学の領域、またはウェーハの残りの部分とは異なるポリタイプの材料である。異種ポリタイプ領域はしばしば色の変化または明確な境界線を示し、拡散照明下での面積パーセントの観点から判断される。

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