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2-18グレイン境界

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-18グレイン境界

2018-01-08

それらは異なる配向の結晶が会合する界面である。粒界は単相界面であり、境界の両側の結晶は配向を除いて同一である。 「クリスタリット境界」という用語は、めったに使用されないこともあります。粒界領域は、元の格子点、転位、および低エネルギー粒界に移動した不純物から摂動された原子を含む。

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