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2020-03-17
2020-03-09
結晶性固体は周期的な結晶構造を示す。原子または分子の位置は、単位セルのパラメータによって決定される、繰り返された固定距離で生じる。しかしながら、ほとんどの結晶材料における原子または分子の配置は完全ではない。規則的なパターンは結晶学的欠陥によって中断される炭化珪素のストリエーションは、ウエハの全厚さを通過してもしなくてもよいウエハの表面から下方に伸びる線形結晶欠陥として定義され、 。
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