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2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-2。使用可能エリア

2018-01-08

エッジ除外ゾーン内のフロントサイドウェーハ品質エリアからの全ての注目欠陥エリアの累積減算。残りのパーセント値は、すべての注目欠陥のない正面表面の割合を示す（エッジ除外を含まない）。

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