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2-22表面粗さ

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-22表面粗さ

2018-01-08

しばしば粗さに短縮され、表面の質感の尺度である。実際の表面の理想形状からの垂直偏差によって定量化される。これらの偏差が大きい場合、表面は粗い。それらが小さい場合、表面は滑らかである。

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