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2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-25.fwhm

2018-01-08

半値全幅（fwhm）は、従属変数がその最大値の半分に等しい独立変数の2つの極値間の差によって与えられる関数の範囲の表現である。

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