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2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-26.ttv

2018-01-08

総厚さ変動（ttv）：ウエハ厚さの最大変動。トータルの厚さのばらつきは、一般に、（ウェハエッジにあまり近すぎない）十字パターンの5箇所でウェハを測定し、厚さの最大測定差を計算することによって決定される。

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