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2-28。ワープ

2.炭化ケイ素ウエハの寸法特性、用語および方法の定義

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2-28。ワープ

2018-01-08

反りは、上で定義した基準面からの自由でクランプされていないウェーハの中央面の最大距離と最小距離との間の差である。この定義は、凹凸領域を含むスライスまたはウェーハの中心線の平面からずれているastm f657およびastm f1390に従います。

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