2020-03-17
2020-03-09
電流および電子および正孔の移動に対する抵抗が炭化ケイ素を運ぶ。比抵抗は、炭化ケイ素の単位体積当たりの炭化ケイ素を流れる電流に対するケイ素を横切る電圧の比に関連する。比抵抗の単位はohm-cmであり、これらは炭化ケイ素ウェハおよび結晶の抵抗率を特定するために使用される単位である。抵抗率は、炭化珪素に窒素やホウ素などの不純物を添加することによって制御される。不純物またはドーパントの量が増加するにつれて、抵抗率は減少する。重くドープされた材料は低い抵抗率を有する。
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